SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射标准品 使用

SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射标准品 为高分辨率 X 射线衍射 (HRXRD) 社区提供了国际单位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射间距、表面到晶面晶片我们的参考波长在反射中的误切和表面到硅 (004) 布拉格角。 SRM 2000 的一个单元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 双抛光 (100) 取向的单晶硅样品组成，具有标称 50 nm Si0.85Ge0.15 外延层和 25 nm 硅帽。

这些认证值可用于校准 HRXRD 仪器。

搬运、储存和使用说明储存和搬运：

外延层可能损坏或晶片机械应变；因此应避免与SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射标准品 的前表面接触。要去除表面污染物，请使用过滤后的氮气。峰轮廓：测量的衍射峰明显不对称。支持性测量表明，这种不对称性可能不完全是由于仪器效应造成的，但部分是由于SRM 2000原料的特性造成的。因此，使用分裂Pearson VII轮廓来拟合和估计峰值位置，并建议用于确定校准的峰值位置。由于不对称性对轮廓位置确定的不同影响，使用另一个轮廓函数可能会导致系统内偏差。

使用

建议使用Si（220）传输中测量的d-间距：直接使用经过认证的d-间距进行校准，dSRM需要一个可以测量传输几何形状的仪器。如果可能的话，可以校准仪器单色器的波长λinst或Si（220）反射附近的角度测量值Δθinst。

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