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SRM640标准硅粉的来源和认证

东莞市百顺生物科技有限公司

SRM640标准硅粉从Siltronic AG(德国慕尼黑)获得。粉碎由Hosokawa Micron Powder Systems(Summit,NJ)进行。


SRM640标准硅粉的认证方法:使用NIST制造的衍射仪[3]的数据进行认证,并使用Pawley方法通过基本参数法(FPA)进行分析。这些分析用于验证均匀性和验证晶格参数。按照国际单位制(SI)的定义,通过使用Cu Kα辐射的发射光谱作为构建衍射轮廓的基础,建立了认证晶格参数值与基本长度单位的联系。


使用FPA,衍射轮廓被建模为描述波长光谱、衍射光学器件的贡献以及微结构特征产生的样品贡献的函数卷积。对发散光束仪器的数据进行分析需要了解衍射角和有效源样品检测器距离。因此,FPA分析中还包括两个额外的模型,以说明样本高度和衰减的影响。根据对测量误差性质的了解,在统计分析分配的A类不确定性和B类不确定性的背景下对认证数据进行分析,以确定认证值的稳健不确定性。


在粉碎之前验证单晶硅材料的均匀性。这些测量是在NIST晶格比较设备[7]上使用从所提供材料中获得的11个晶体样品进行的。总共进行了32次晶格比较测量,涵盖了纵向和径向的晶球方向。


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